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微型共焦的位移測(cè)量傳感器系統(tǒng)怎么樣?

發(fā)布時(shí)間:2023-05-11 17:48:18人氣:

自Micro-Epsilon的共焦測(cè)量系統(tǒng)正在擴(kuò)展,加上optoNCDT2402系列。非接觸技術(shù)是基于色共聚焦原理。它是用來(lái)測(cè)量位移和距離精確到納米。新系列提供了共聚焦測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)于一身的小型化設(shè)計(jì)。為了實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo),白光是使用哪從評(píng)價(jià)單元經(jīng)由光纖到傳感器在那里被分離的透鏡系統(tǒng),然后被聚焦在測(cè)量對(duì)象上傳遞。


在這里,不同的光譜反射NACH的光的縱向像差和視距離。到達(dá)傳感器的波長(zhǎng)的光被通過(guò)光纖耦合器傳遞到在評(píng)估單元中的受光光學(xué)系統(tǒng)。期間執(zhí)行由該公司的校準(zhǔn),每個(gè)顏色頻譜被分配一個(gè)限定的距離,使測(cè)量對(duì)象物的表面的輪廓被重構(gòu)。的各種顏色的光譜僅區(qū)分由幾納米。


由于從微小量的受光光學(xué)系統(tǒng)可以非常精確地設(shè)定光譜區(qū)分,非常高的分辨率就產(chǎn)生了。在對(duì)比常規(guī)共焦傳感器,該傳感器有一個(gè)直徑所以這有利于在狹窄的空腔測(cè)量?jī)H僅4毫米。通過(guò)可選的90光束偏轉(zhuǎn)有那么收購(gòu)窄鉆孔墻體結(jié)構(gòu)的可能性。因?yàn)楣饪梢詿o(wú)損失地運(yùn)送過(guò)來(lái)的光纖,高達(dá)50米的距離可以評(píng)估裝置和光學(xué)系統(tǒng)之間進(jìn)行橋接,這允許在區(qū)域受到爆炸危險(xiǎn)要使用的傳感器,在真空或在強(qiáng)電磁領(lǐng)域。由于引用的規(guī)格和它的鈦外殼,它是非常適合于在半導(dǎo)體,化學(xué)或醫(yī)療等領(lǐng)域的自動(dòng)化生產(chǎn)過(guò)程。

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